機器消耗品市場

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商品情報

　　

カート

商品NO	1842	商品名	マグネトロンスパッタ装置	メーカー	（株）真空デバイス	管理	（株）真空デバイス
		型式	MSP-1S	価格		商品問合せ
特徴	この装置はSEM観察用貴金属薄膜コーティング専用装置です。SEM試料のチャージアップを防止し、二次電子の発生効率を向上させるための貴金属コーティングを行う装置です。マグネトロンターゲット電極による低電圧放電に加えて、試料台をフローティング方式にすることにより、電子線流入による試料損傷を軽減しております。操作は簡単、ボタンを押すだけ、上手下手がありません。小型で場所をとりません。					カタログ
仕様	電源：ＡＣ１００V（単相１００V１０A）アース付き３Pプラグ　１口ロータリーポンプ：１０Ｌ／ｍｉｎ（装置に内蔵）装置サイズ：幅２００mmｘ奥行き３５０ｍｍｘ高さ３４５ｍｍ（装置重量：１４．６Ｋｇ）試料室サイズ：内径１２０ｍｍｘ高さ６５ｍｍ（硬質ガラス）試料台サイズ：直径５０ｍｍ（フローティング方式）電極－試料台間隔：３５ｍｍ（補助試料台使用時２５ｍｍ）ターゲット電極：永久磁石内蔵マグネトロン型ターゲット電極ターゲット金属仕様： Φ５１ｍｍ、厚さ０．１ｍｍ　Ｐｔ、Ｐｔ－Ｐｄ、Ａｕ、Ａｕ－Ｐｄ、Ａｇ
備考				管理NO

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